打樣/開發/檢測
多功能水平式實驗設備：
設備配置： Cryo pump、Turbo pump以及Dry pump。
濺鍍電源： DC power、Pulse DC power、MF power
電漿清潔： RF plasma clean。
濺鍍靶源：水冷式濺鍍靶源，靶材尺寸550*125mm。
Carrier尺寸：L700*W585mm。
最佳鍍膜尺寸：300*600mm。
最大鍍膜尺寸：500*700mm。
廠內靶材材質：
非金屬靶：
大靶：ITO(90:10/97:3)、AZO(Al 2%)、GZO、i-ZnO、
Nb2Ox、TiOx、NiO、
小靶：Li3PO4、LiCoO2、LiMn2O4、鐵弗龍。
金屬靶：
大靶：Cu(3N/4N)、Al(3N/5N)、Ag(4N)、Mo、W、
NiCr、NiV、In、Sn、CuNi、Zn、Cr、 Ti、
W、CuGa、SUS304、Ta、SUS316。
附註：
大靶：550*125mm
小靶：200*75mm
檢測設備
