自動對位鍍膜設備

12.Coating System 5

1.玻璃基板尺寸:200*200mm。

2.真空CCDAuto Alignment 精度 : +/- 5 um以下。

3.真空內自動結合Mask,自動更換Mask 。

4.對位後基板旋轉鍍膜。

12.Coating System 2
12.Coating System 4