連續式高溫鍍膜設備

10.coating system
  • 產品尺寸product size : 3.5~5.5G。
  • 蒸鍍源evaporation source : Linear source or point source。
  • 膜厚均勻度film uniformity : +-5% 。
  • 鍍膜材料 Deposition material : CuGa/In/Se 。
  • 基板溫度heating : substrate temperature 550°C。
10.Coating System 1
10.coating system (2)
10.Coating System 3