傳統的真空濺鍍技術的工作溫度約在150℃以上，因為溫度較高的關係，使得可加工的產品受到限制，無法應用在不耐高溫的塑膠材料上，低溫真空濺鍍可在100℃以下工作，目前技術已可以將溫度降至60℃，使得加工物件的材質已無限制，可行性大幅提高。真空濺鍍依使用之設備可分 ：批次式濺鍍、連續式濺鍍。批次式濺鍍每完成一批後，需要破真空取出工件，再行放入下批工件抽成高真空，導致產能小，成本較高。而所有腔體排成一直線的多腔體的連續式濺鍍，連續將工件入料與出料，製程區域一直維持高真空，產能就大，成本較低。通常連續式濺鍍腔體數愈多，生產週期就愈短，產能就愈大。雖然連續式濺鍍的產出效率較佳，但在製程及技術上有一定困難，目前良率高的廠商並不多。